Teledyne API SCI-552 臭氧發生器控制器介紹
SCI-552 是臭氧輸送系統的系統控制器，為許多典型系統組件提供電子控制接口，包括：臭氧發生器、EV 閥、質量流量控制器、背壓控制器、Teledyne API 452 臭氧傳感器、Teledyne API 470 溶解臭氧傳感器和冷水機組。
SCI-552 具有硬件和軟件支持多種系統聯鎖功能。SCI-552 為最終用戶提供了靈活性，允許通過前面板用戶界面、MODBUS 串行接口或各種離散的數字和模擬 I/O 點控制系統。SCI-552 設計用于支持兩個臭氧發生器，提供兩個獨立的臭氧輸出通道。
特征
RS-232 MODBUS 遠程支持
控制多達 2 個臭氧發生器
最多可連接 2 個 452 型和 470 型臭氧傳感器
控制多達 4 個質量流量控制器
控制多達 2 個背壓控制器
控制多達 2 個 EV 閥
控制冷水機組
系統聯鎖輸入
遠程系統級控制和狀態 I/O
應用
化學氣相沉積(CVD)
原子層沉積(ALD)
氧化物生長
表面處理
灰化
粒子清潔
光刻膠去除
其他